冷凍機(jī)-工業(yè)冷凍機(jī)-高低溫一體機(jī)
FLTRZ變頻環(huán)保系列
適用范圍
高效節(jié)能:變頻壓縮機(jī)組通過內(nèi)置變頻裝置隨時(shí)根據(jù)用戶冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機(jī)的運(yùn)行轉(zhuǎn)速，從而避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對(duì)抗，保持機(jī)組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。
快速制冷:變頻機(jī)組采用先進(jìn)的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和風(fēng)機(jī)運(yùn)行轉(zhuǎn)速，通過電子膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。
超低噪音:變頻機(jī)組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機(jī)，大大降低回旋不平衡度，使機(jī)組的振動(dòng)非常小，約為常規(guī)壓縮。機(jī)的1/2，結(jié)合多重降噪措施，極度安靜。
環(huán)境適應(yīng)性高:變頻機(jī)組采用低頻啟動(dòng)，啟動(dòng)電流小，對(duì)電網(wǎng)沖擊小。對(duì)電壓的適應(yīng)性較強(qiáng)，可寬電壓范圍下啟動(dòng)。
壽命長(zhǎng):變頻機(jī)組不會(huì)頻繁啟停，有效降低機(jī)組啟停時(shí)的損耗，延長(zhǎng)機(jī)組壽命。
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
品頁(yè)特點(diǎn)圖標(biāo)-1.png)
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 產(chǎn)品型號(hào) | FLTRZ-001W | FLTRZ-003W | FLTRZ-006W | FLTRZ-011W | |
| FLTRZ-001 | FLTRZ-003 | FLTRZ-006 | FLTRZ-011 | ||
| 介質(zhì)溫度范圍 | +10℃?+25℃ | ||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機(jī) | 壓縮機(jī)(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 制冷量AT 10℃ | 3kW | 7kW | 13kW | 25kW | |
| 內(nèi)循環(huán)容積 | 4L | 5L | 8L | 12L | |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 25L | |
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純水DI等 | ||||
| 進(jìn)出口接管尺寸 | M24*1.5 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | |
| ?冷型（w） 溫度20度 |
冷卻水量 | 700L/H | 1650L/H | 3200L/H | 5600L/H |
| 接管尺寸 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | M45*1.5 | |
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 單相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz |
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz | |||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于32℃，提供冷卻水溫度不能高于32℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 產(chǎn)品型號(hào) | FLTRZ-001WS | FLTRZ-003WS | FLTRZ-006WS | FLTRZ-011WS | |
| FLTRZ-001S | FLTRZ-003S | FLTRZ-006S | FLTRZ-011S | ||
| 介質(zhì)溫度范圍 | +10℃?+25℃ | ||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.005℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)） | ||||
| 壓縮機(jī) | 壓縮機(jī)(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 制冷量AT 10℃ | 3kW | 7kW | 13kW | 25kW | |
| 內(nèi)循環(huán)容積 | 4L | 5L | 8L | 12L | |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 25L | |
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純水DI等 | ||||
| 進(jìn)出口接管尺寸 | M24*1.5 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | |
| ?冷型（w） 溫度20度 |
冷卻水量 | 700L/H | 1650L/H | 3200L/H | 5600L/H |
| 接管尺寸 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | M45*1.5 | |
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 單相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz |
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz | |||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于32℃，提供冷卻水溫度不能高于32℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 產(chǎn)品型號(hào) | FLTRZ-201W | FLTRZ-203W | FLTRZ-206W | FLTRZ-211W | |
| 介質(zhì)溫度范圍 | -25℃?90℃ | ||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機(jī) | 壓縮機(jī)(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 流量 | 30~60L/min | 60~120L/min | |||
| 制冷量 kW?at |
90℃ | 3kW | 7.5kW | 13kW | 25kW |
| 50℃ | 3kW | 7.5kW | 13kW | 25kW | |
| 0℃ | 2.7kW | 6.4kW | 11.7kW | 22.5kW | |
| -10℃ | 2.1kW | 5.2kW | 9.5kW | 19kW | |
| -20℃ | 1.3kW | 3.4kW | 6.2kW | 12.4kW | |
| 內(nèi)循環(huán)容積 | 4L | 5L | 8L | 12L | |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 25L | |
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||
| 進(jìn)出口接管尺寸 | M24*1.5 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | |
| ?冷型（w） 溫度20度 |
冷卻水量 | 700L/H | 1650L/H | 3200L/H | 6000L/H |
| 接管尺寸 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | M45*1.5 | |
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 單相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz |
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz | |||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：15℃；出?溫度：20℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 產(chǎn)品型號(hào) | FLTRZ-401W | FLTRZ-403W | FLTRZ-406W | FLTRZ-411W | |
| 介質(zhì)溫度范圍 | -40℃?90℃ | ||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機(jī) | 壓縮機(jī)(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 流量 | 30~60L/min | 60~120L/min | |||
| 制冷量 kW?at |
90℃ | 3.5kW | 7.5kW | 13kW | 25kW |
| 50℃ | 3.5kW | 7.5kW | 13kW | 25kW | |
| 0℃ | 2.7kW | 6.4kW | 11.7kW | 22.5kW | |
| -15℃ | 1.5kW | 3.7kW | 6.8kW | 13kW | |
| -25℃ | 1kW | 2.6kW | 5kW | 9.6kW | |
| -35℃ | 0.2kW | 0.7kW | 1.5kW | 3kW | |
| 內(nèi)循環(huán)容積 | 4L | 5L | 8L | 12L | |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 25L | |
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||
| 進(jìn)出口接管尺寸 | M24*1.5 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | |
| ?冷型（w） 溫度15度 |
冷卻水量 | 700L/H | 1650L/H | 3200L/H | 6000L/H |
| 接管尺寸 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | M45*1.5 | |
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：15℃；出?溫度：20℃； 3.提供冷卻水溫度不能高于15℃，冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 產(chǎn)品型號(hào) | FLTRZ-801W | FLTRZ-803W | FLTRZ-806W | FLTRZ-811W | |
| 介質(zhì)溫度范圍 | -70℃?90℃ | ||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ||||
| 壓縮機(jī) | 壓縮機(jī)(變頻控制) | ||||
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥 | ||||
| 流量 | 30~60L/min | 60~120L/min | |||
| 制冷量 kW?at |
90℃ | 3kW | 7.5kW | 13kW | 25kW |
| 20℃ | 3kW | 7.5kW | 13kW | 25kW | |
| -55℃ | 0.6kW | 1.8kW | 3.5kW | 7kW | |
| -65℃ | 0.3kW | 0.9kW | 1.81kW | 4kW | |
| 內(nèi)循環(huán)容積 | 4L | 5L | 8L | 12L | |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 25L | |
| 制冷劑 | R744(二氧化碳)/R508B | ||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液等 | ||||
| 進(jìn)出口接管尺寸 | M24*1.5 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | |
| ?冷型（w） 溫度15度 |
冷卻水量 | 900L/H | 2250L/H | 4400L/H | 8000L/H |
| 接管尺寸 | M30*1.5 | M38*1.5 | M38*1.5 | M45*1.5 | |
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 單相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz |
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz | |||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：15℃；出?溫度：20℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 型號(hào) | FLTRZ-D-D3D3W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | |
| 溫度范圍 | -25℃?+90℃ | -25℃?+90℃ | |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | |
| 制冷量AT -10℃ | 5.2kW | 5.2kW | |
| 制冷量AT -20℃ | 3.4kW | 3.4kW | |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | M30*1.5 | ||
| ?冷型（w） 溫度20度 |
冷卻水量 | 3300L/H | |
| 接管尺寸 | M38*1.5 | ||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 單相220V 50Hz 三相220V 50&60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz |
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| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：15℃；出?溫度：20℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.支持多通道定制，如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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| 型號(hào) | FLTRZ-D-E6E6W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | |
| 溫度范圍 | -40℃?+90℃ | -40℃?+90℃ | |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | ±0.1℃（可定制±0.01℃） | |
| 制冷量AT -15℃ | 6.8kW | 6.8kW | |
| 制冷量AT -35℃ | 2.2kW | 2.2kW | |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | M38*1.5 | ||
| ?冷型（w） 溫度15度 |
冷卻水量 | 6000L/H | |
| 接管尺寸 | M45*1.5 | ||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||
| 制冷劑 | 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0） | ||
| 工藝過程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無(wú)模型自建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程目標(biāo)溫度 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)電源 | 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz | ||
| 1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。 2.額定測(cè)試條件：進(jìn)?溫度：15℃；出?溫度：20℃； 3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。 4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請(qǐng)以機(jī)組銘牌參數(shù)為主。 5.支持多通道定制，如需特殊?標(biāo)品定制，請(qǐng)與我司聯(lián)系。 |
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行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
體.jpg)
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
體封測(cè).jpg)
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
