冷凍機(jī)-工業(yè)冷凍機(jī)-高低溫一體機(jī)
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product Features
品頁(yè)特點(diǎn)圖標(biāo)-1.png)
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏方式，可以顯示環(huán)境溫度，具有電源欠壓、缺相報(bào)警，機(jī)組本地觸摸屏可實(shí)現(xiàn)所有溫度監(jiān)視功能。
同時(shí)，觸摸屏可以實(shí)時(shí)顯示氟化液回收狀態(tài)，幫助客戶科學(xué)管控氟化液的使用。
本系統(tǒng)具有優(yōu)良的機(jī)電性能:控制精度高，性能穩(wěn)定，可靠性高;操作簡(jiǎn)便，維護(hù)、維修方便。
| 型號(hào) | FHY-HS01 |
| 環(huán)境溫度 | 15℃-35℃ |
| 環(huán)境濕度 | 不大于85% |
| 設(shè)備供電 | 單相220V/50HZ（可依據(jù)客戶要求定制） |
| 額定功率 | 1.8kW |
| 最大運(yùn)行電流 | 10A |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
| 噪聲 | 小于70dB |
| 制冷系統(tǒng)控溫精度 | ±1℃ |
| 真空泵排氣量 | 210L/min(Max) |
| 回收能力（氣態(tài)） | 450ml（氣態(tài)）/H（Max） |
| 回收時(shí)間 | 小于2小時(shí) |
| 氟化液凈損耗率 | 小于10% |
| 蓄冷罐容積 | 5L/8L |
| 制冷劑 | R404A/1.2kg |
| 可回收氟化液類型 | 3M-7100、3M-7200、長(zhǎng)蘆7100、長(zhǎng)蘆7200等易揮發(fā)氟化液 |
| 通訊方式 | RS232/RS485/USB |
| 進(jìn)出接口 | Rc1/2 |
| 循環(huán)回收系統(tǒng) | 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空氣中水份，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)。 |
| 操作界面 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 |
| 外形尺寸 | L：65cm；W：48cm；H：130cm??可依據(jù)客戶要求定制 |
行業(yè)應(yīng)用
APPLICATION
體.jpg)
半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。
精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。
體封測(cè).jpg)
半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案
半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
